雖然很多半導體行業采用了（le）活性炭吸附箱+催化燃燒技術路線，而且天（tiān）清（qīng）佳（jiā）遠也做了很多的案例。不過還是很多在問，哪種更好？

技術方（fāng）麵確實有差別，而成（chéng）本方麵（miàn）也導（dǎo）致很多客（kè）戶采用了活性炭吸（xī）附箱+催化（huà）燃（rán）燒技術（shù）路線。實際上，天清佳遠為越來越多的廠家業主（zhǔ）推薦的是沸石轉（zhuǎn）輪+催化燃燒技術路線。

半導體工業中常用的有機溶劑和揮發（fā）性有機物，如光刻膠、溶劑蒸汽等，都可（kě）以通過沸石轉輪催化燃燒技術（shù）進（jìn）行處理。而光刻膠和溶劑蒸汽中的（de）有機物濃度通（tōng）常較高，活性炭在吸（xī）附一定量有機（jī）物後很快達到飽和狀態，導致吸附效果（guǒ）下降。

• 處理效率：

• 沸石轉輪催化燃燒：處理效率穩定在99%以上。
• 活（huó）性炭吸附箱催化燃（rán）燒：處理效率80%-90%之間。

• 安（ān）全（quán）性：

• 沸石轉輪催化燃燒（shāo）：安全風險較低，催化燃燒過程穩定可（kě）靠。
• 活性炭吸附箱催化燃燒：存在一定安全隱患，活性炭易發（fā）生自燃。

• 材料更換周期：

• 沸石轉輪催化燃燒：材料更換周期長，幾乎不（bú）需要額外的材料更換費用。
• 活性炭吸（xī）附箱催化燃燒：材料更換周期（qī）較（jiào）短，需要定期更換活性炭，增（zēng）加了運營成本。

• 成本：

• 沸石轉輪催（cuī）化燃燒：操作維護成本較少。
• 活性炭吸附箱催化燃燒：活性炭更換和催化劑再（zài）生（shēng）成（chéng）本較高，運營（yíng）成本較高。

天清佳遠的（de）客戶案例（lì），經（jīng）過設備安裝並（bìng）投入運行一（yī）段時間後，該廠廢氣排放濃度顯著降低（dī），處（chù）理效率穩定在99%以上。同時，沸石轉輪催化燃燒技術的安全性得到了驗證，催化燃燒過程穩定可靠，幾乎沒有安全風險。此外，由於沸石轉輪的吸附能力強，材（cái）料更換（huàn）周期長，幾（jǐ）乎不需要額外的材料更換費用，降低（dī）了運（yùn）營成本。

通（tōng）過沸石轉輪（lún）催化燃（rán）燒技術（shù）的應用，該半導體製造（zào）廠（chǎng）成功解決了廢氣處（chù）理難（nán）題，實現了廢氣排放的“清（qīng）潔、高效、安全”。同時，也為其他同行業企業提供了（le）一種可行的廢氣處理方案。