光刻膠在半導體（tǐ）製造過程中產（chǎn）生的廢氣主要包括光刻（kè）膠揮發物和溶劑（jì）蒸汽。光刻膠揮發物主要是由光刻膠中的有機成分揮發（fā）而成，而溶劑蒸汽則（zé）是在（zài）清洗和溶解光刻膠的過程中產生的。

典型的光刻膠成分包括以下幾種：

1. 聚合物基質：光刻膠中的聚合物基質是其主要成分之一，用於形成（chéng）光刻圖（tú）案並固化。常見的聚合物有聚甲基丙烯（xī）酸甲酯（PMMA）、聚酰亞胺（PI）等。

2. 溶劑：為了使光刻膠具有適當的粘度和流動性，通（tōng）常需要添加溶（róng）劑。常用的（de）溶劑包括甲（jiǎ）苯、丙（bǐng）酮、二甲苯等。

3. 添加劑（jì）：光刻膠中還（hái）可能添加各種添加劑，如（rú）增（zēng）溶劑、抗溶劑、光敏劑等，以調節其性能和特性。

在光刻過程中（zhōng），這些有機成分會揮發出來，形成廢氣。光刻膠產生的廢氣中，光（guāng）刻膠揮發物和溶劑蒸（zhēng）汽的成分和濃度占比（bǐ）會根據具體的光（guāng）刻膠配方（fāng）、工藝條件以及（jí）清洗步（bù）驟的不同而有所差異。

光刻膠產生的廢氣中含有揮發性有機化合物和溶劑蒸汽，針對這些物質，常見的處理方法包括活性炭吸附催化燃燒和沸石轉輪催化燃燒兩種。

1. 活性炭吸附催化燃燒：

• 吸附過程：廢氣首先通過活性炭層，活性炭具（jù）有大量微孔和表（biǎo）麵活性，能（néng）夠吸附（fù）廢（fèi）氣中的有機揮（huī）發物和溶劑蒸汽。
• 催化（huà）燃燒（shāo）過程：經過活性炭吸附後（hòu）的廢氣進入（rù）催化燃燒裝置，催化劑（常見的催化劑包括鉑、鉬等）的作用下，有機物被氧（yǎng）化為二氧（yǎng）化碳和（hé）水，實現淨化。

2. 沸石轉輪催化燃燒：

• 吸附過程（chéng）：廢氣通過沸石（shí）轉輪（lún），沸石轉輪表麵的沸石顆粒具有大（dà）量的微孔（kǒng）和表麵積，能夠（gòu）高效（xiào）吸附廢氣中的有機揮發物和溶劑蒸汽。

• 催化燃燒過程（chéng）：吸附後的廢（fèi）氣進（jìn）入催化燃燒裝置，在高溫條件下，有機物經催（cuī）化劑的作用氧化為無害物質，如二氧化碳和水。

  
  

對比（bǐ）：

• 處理效率：沸石轉輪催化燃燒技術相比活性炭吸附催化燃燒技術，處（chù）理效率更高，通常能達到95%以上，而活性炭吸附催化燃燒技術處理效（xiào）率一般在80%至90%之間。

• 穩定性：沸（fèi）石轉輪催化燃燒技術的穩定性更好，能夠在較（jiào）長時間內（nèi）持續穩（wěn）定運行，而活性炭吸（xī）附催化燃（rán）燒技術可（kě）能會因為活性炭的飽和和催（cuī）化劑的失效而導致處（chù）理效果下降。

• 適用（yòng）性：沸石（shí）轉輪催化燃燒技術適（shì）用於處理高濃度、高溫度、有機物種類複雜的廢氣，而活（huó）性炭吸（xī）附（fù）催化燃燒技術對於這些廢氣可能存在（zài）一定限製。

• 運行成本：沸石轉輪催化燃燒技術相對於活性炭吸（xī）附催化燃燒技術可能具有（yǒu）較低的運行成本，因為沸石轉輪的更換周（zhōu）期較長，而活性炭的更換（huàn）需要周期性進行，增加了（le）運行成本（běn）。

綜（zōng）上所述，沸石轉輪催化燃燒技術相比活性炭吸附催化燃燒技術在（zài）處（chù）理光刻膠產生的廢氣時（shí）更具有優勢，具有更高的處理效率、穩定性和適應性，能夠提供更全（quán）麵的廢（fèi）氣處理（lǐ）方案。